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国产首台G8.6氢氟酸清洗机顺利交付:全尺寸全制程湿法装备的全面突破 发布时间:2026-09-17

近日,晶洲装备自主研发的国产首台AMOLED用G8.6氢氟酸清洗机顺利交付客户。该设备的成功交付,标志着晶洲装备已全面完成从阵列(Array)、蒸镀(OLED)、成盒(CELL)、彩膜(CF)到触控(TSP)的全制程全尺寸湿法装备应用布局,进一步夯实了国产高端湿法制程装备的产业化能力。

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深耕湿制程 · 铸就国产装备硬实力

作为国内领先的高端湿制程装备及工艺技术综合解决方案提供商,晶洲装备自 2011 年成立以来,始终聚焦平板显示、光伏及半导体领域,围绕高精密清洗、涂布、显影、湿法刻蚀、光阻剥离等核心工艺持续深耕,先后完成了 G2.5 ~ G10.5 世代线尺寸湿法工艺设备自主研发,稳定了平板显示湿法装备供应链。

氢氟酸清洗在显示面板制程中承担着多种不可替代的功能,其清洗效果直接关系到器件结构的最终性能、效率与稳定性,进而影响产品良率。它不仅要清除基板表面的颗粒、金属离子与有机残留物,还需实现近乎原子级的表面平坦度与良好钝化,保障后续制程的工艺可靠性。此次 AMOLED 用 G8.6 氢氟酸清洗机的成功交付,是晶洲在高世代线尺寸湿法装备能力上的又一次有力验证。

贯通全湿法工艺 · 覆盖全世代线尺寸

在显示面板制造链条中,湿法相关设备占总工序约50%,晶洲装备依托多年技术积累,实现了从阵列(Array)、蒸镀(OLED)、成盒(CELL)、彩膜(CF)到触控(TSP)的全制程湿法工艺装备覆盖,可根据不同世代线、不同制程与基板尺寸需求,提供定制化解决方案。

从早期光伏湿法设备的起步,到国产显示湿法装备实现"0"的突破,再到 G8.5 以上超大尺寸全系列湿法工艺装备批量交付,晶洲装备持续将"更大尺寸、更全工艺、更高精度"作为攻坚方向。此次 AMOLED 用 G8.6 氢氟酸清洗机的成功交付,标志着晶洲在全尺寸全制程湿法工艺装备应用方面的全面突破。

自主创新 · 助力国产装备产业"从跟随走向引领"

面向未来,晶洲装备将继续深化在湿法装备领域的技术研发与产业化投入,秉持应用牵引、协同创新的发展路径,携手产业链伙伴打造自主可控的湿法制程装备高地,为国产显示装备产业从"跟随者"迈向"引领者"、锻造新型显示新质生产力贡献力量。

关 于 晶 洲
苏州晶洲装备科技有限公司 2011 年成立于江苏常熟,是一家专注于湿制程与图形化工艺技术及应用装备开发的高新技术企业。致力于为 新型显示、光伏及半导体行业 提供 高精密清洗、涂布、显影、刻蚀、光阻剥离、电化学沉积 等湿制程与图形化设备。同时,公司提供 废液在线回用系统、智能集成与数据分析 等创新解决方案,助力客户实现生产过程的绿色化与智能化升级。

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